| 时间 | 版本 | 描述 |
|---|---|---|
| 2024-02-25 | 1.0 | 整理大纲和摘录部分内容 |
光刻机是中国被「卡脖子」的一个领域，从而引起我对光刻机的兴趣。 ASML 作为光刻机的领头羊，其崛起之路对我们肯定有很多参考价值。 同时，我也想通过这本书理解光刻机行业的发展、技术概况及商业概况等。
- 01 光刻机的前历史
- 02 合法的印钞机
- 03 垂死挣扎
- 04 达成协议
- 05 杠杆剥离
- 06 截止期限
- 07 花钱大王
- 08 走上正轨
- 09 你追我赶
- 10 增长
- 附录
- 01 光刻机的前历史
- 一只奇怪的昆虫
- 飞利浦半导体和材料部
- David Mann 公司
- 爱德·鲍尔
- 小提琴制作师
- 02 合法的印钞机
- 天生的工程师
- 旅行伙伴
- 技术文档 105/71
- 晶圆重复曝光光刻机
- 美国风格
- 03 垂死挣扎
- 维姆·特罗斯特
- 特罗斯特的信
- GCA 打出致胜牌
- 敲响政府的门
- 电动晶圆台
- 拯救计划
- 金砖做的茅房
- 04 达成协议
- 阿瑟·德尔·普拉多
- 五十对五十
- 可怕的协议
- 05 杠杆剥离
- 贾特·斯密特
- 欺骗
- 重聚
- 交付期限
- 一亿美元
- 从巴黎到奥伯科亨
- 来自地狱的公司
- 日本人
- 最初的蓝图
- 卡通演示
- 第一条招聘广告
- 06 截止期限
- 商业计划
- 地标
- 回到 Elcoma
- 维多利亚韦斯特旅馆
- 蚁冢
- 维多利亚酒店
- 美国市场
- 如果说它周五来，那它就不会来
- 快！快！快赶上了
- 我们可以赢的
- 我们听见了你的话，杰瑞
- AMD 公司
- 斯密特的发声板
- 紧急会议
- 不再狂野的怀尔德
- 07 花钱大王
- 幸福感
- 美国最强硬的老板
- 德尔·普拉多又被诱惑了
- GCA 的黄昏
- 日本设备的可靠性
- 碎梦大道
- 接受不接受随你
- 80美元和再见
- 08 走上正轨
- 胖胖的人
- 一贫如洗
- 有希望的客户
- 尼康的阿克琉斯之踵
- 现金流变正
- 开启加速模式
- IBM 公司
- 09 你追我赶
- 圆桌会议新老板
- 德国人的垄断
- 给 IBM 的录像片
- 有「金手指」的工匠
- 日本玻璃
- 蔡司 O-Lab
- 靠信誉经营
- 想都不用想的事
- 10 增长
- 完美的团队
- 主人翁的价值
- 扫描光刻机
- 韩国巨头
- 四十大盗
- 拯救公司的医生
- 开坦克的参会者
- 格拉斯曼的严峻挑战
- 独立自主
- 附录
- 附录1 从欧洲视角看20世纪50年代的计算机芯片与光刻技术
- 附录2 David Mann 公司
- 附录3 20世纪60年代初，飞利浦 Natlab 的技术微型化
- 附录4 光图机
- 附录5 电子束掩模制作机
- 附录6 摩尔定律与芯片设备游戏规则
- 附录7 合资协议：估值
- 附录8 合资协议：最开始的计算
- 附录9 对准：全局对准、裸片对准和双对准
- 附录10 电动晶圆台之谜
- 附录11 合资协议：ASM 退出时的最后声明
- 附录12 长冲程、短冲程电机
ASML 能做成今天这个样子，是在成立之初就计划好的。-- 维姆·亨德里克森（ASML 早期员工）
- 有时 ASML 工程师给人的第一印象确实像「书呆子」
- ASML 电动晶圆台的发明者罗布·穆尼格·施密特在退休后还在研究终极音频放大器
- Natlab 的主任哈霍·梅耶在退休后以他在声学方面的学术文章为基础，做了50把音乐会级别的小提琴
- 在阿姆斯特丹运河边小屋的地下室里，Natlab 的另一位主任马里诺·卡拉索则喜欢自己把元器件焊到电路板上
- 相位光栅和镜后测光的结合是如此的具有革命性和先进性，它使 ASML 在未来几十年的竞争中一直领先。
在那时，几乎每个工程师在 Natlab 都是受欢迎的，不管他的受教育程度如何。 社交能力并不重要，只有工作能力和热情是最重要的。 因此，在20世纪60年代和70年代，Natlab 变成了一群天才的游乐场： 一些团队合作者和一些孤独单干者， 一些对社会感到不适应、热情且有个性的技术爱好者， 还有那些忽视自己需要的工作狂和自大的天才。
- 积极主动、喜欢应对挑战的范登布林克
当范登布林克加入公司时，他负责对准系统和检查 CERCO 镜头。 在最初的几个月里，他迅速掌握了所需的光学知识； 他雄心勃勃，非常积极主动，而这正是 ASML 所需要的精神。
范希克提了一个建议：他们将制造一台全新的步进光刻机，里面几个系统部件的设计极具挑战性，并问他是否有兴趣做镜头投影和对准系统。 范登布林克毫不犹豫说：「我很乐意设计对准系统和掩模台」。 镜头和对准系统面临的挑战是整体挑战的一部分，年轻的工程师非常渴望参与。 这就是范登布林克的特点，一个有抱负的工程师，喜欢应对挑战。
- GCA 衰落的原因
- 没有统一标准的工程技术，缺乏系统级的思考
- 客户投诉多，应接不暇
GCA 声称其步进光刻机每小时可以曝光 40
50 个晶圆，但实际上最多只能曝光 1520 个。 问题的根源是 GCA 没有统一标准的工程技术。标准接口被定义在各种组件之间，如光源和光罩转换。 每个开发人员都孤立地开发自己的子系统，从不顾及子系统的模块接口。在20世纪80年代末，亨德森总结了 GCA 的主要问题。 公司快速增长、客户投诉多、缺乏主次，使得高级管理层无法有效地指导产品开发。 与此同时，开发团队不断收到客户的投诉和需求。 工程师从一个客户跑到另一个客户，而不是专注于改进和研发新一代机器的关键工作。
GCA 的开发人员也缺乏对芯片制造工序的充分了解，他们很难确定哪些应用具有优先级。 他们并不真正了解市场，也无法根据不断收到的客户投诉和需求设定明确的长期目标。
- 独立思考、敢于创新的利希滕贝格
这些制作过程将由数控机床（CNC）控制，而不是手动控制。 贝克斯特特将这项任务交给克劳斯·利希滕贝格，他目前负责原型和工具部门。 利希滕贝格的工作是实现这一切，这位年轻的工程师开始很不情愿。 他并没有拘泥于传统的光学制造思维，因为他在大学接触到了机器人技术。 由于他在灵活系统方面的经验，他认为机器人使用数字设计和计量学数据抛光表面的方法更有价值。
- 无比暴躁的格拉斯曼
第二天，格拉斯曼邀请光学生产和装备车间的经理们到位于蔡司行政大楼顶层的办公室。 这位首席执行官很快就转换到完全的格拉斯曼模式。 首先，他对装配经理说：「你有两个选择，如果你能确保我们可以给 ASML 他们需要的东西，你可以走出那扇门。」 格拉斯曼边吼着边大步走向窗户，然后他打开窗户说「如果你不能保证，那么你就可以从这里跳下去了。」